天津实验室高纯气路布局

　　高纯气体管道系统的布置不同于普通气体管道。一般来说，要求管道不要太长，不要有死角，如不容易吹干净的“盲管"。主管或支管的末端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中，让少量气体在管道末端连续排出，从而管道中的气体将正常流动，避免出现“死区"。根据工艺气体的质量要求，必要时应设置终端净化装置。一般来说，控制阀、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪器等。进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室，便于统一管理和控制。

　　高纯气路管道及管道附属材料:高纯气体管道输送管道应根据工艺对气体纯度、允许杂质含量、颗粒含量等的不同要求，采用相应质量的管道。例如，半导体工业不仅需要清洁的生产环境，而且由于其复杂的生产过程和精细加工，对生产过程中所需的各种高纯度气体也有具体和严格的要求。从微米技术到亚微米和深亚微米(小于0.35um)技术，对气体中杂质含量和水分含量的要求非常严格，10-6 (ppm级)不能满足要求。需要达到10-9 (ppb级)甚至10-12(ppt级)，粉尘粒径需要控制在0.05-0.01 μm。因此，输送管道的管道材料特性必须满足高纯度和超高纯度气体的要求。

　　管道材料的特性对于输送高纯气体的管道，影响气体质量的管道材料的主要特性是透气性、出气率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蚀性。

　　供气系统管道安装要求

　　、管道敷设应符合设计要求，设计没有要求时，干气管道应水平安装;输送湿气的管道应安装坡度不小于0.003，坡度应朝向冷凝水收集器。

　　管道采用焊接连接，钨极氩弧焊打底，手工电弧焊覆盖。不锈钢管焊接或点焊应采取充氩保护措施

　　气体管道和设备、阀门和其他附件应通过法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须是聚四氟乙烯薄膜

　　、气体管道穿过洁净室时，法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净

　　气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化无缝钢管时，必须采用集中安装方式，安装应在48小时内分段组合，氮气保护，填充压力不小于0.2兆帕

　　对于有接地要求的燃气管道，法兰之间必须焊接导电跳线。导体截面和焊接搭接长度应符合设计要求。焊点必须牢固可靠。

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